| Производитель | Shimadzu |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 50000 |
| Охлаждение | воздушное |
| Вес, кг | 9 |
| Вибрация, мкм | 0,012 |
| Время разгона ротора, мин | 5 |
| Вход и выход | VG100, ICF152, ISO100B, ISO100C / KF25 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^9 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4x10^3 |
| Коэффициент сжатия гелия | 6x10^4 |
| Модель | TMP-203MC |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 190 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 120 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 140 |
| Температурный режим, °С | от 0 до 40 |
