Производитель | Ebara |
Страна | Япония |
Тип | Винтовой |
Мощность электродвигателя, кВт | 3,2 |
Напряжение, В | 200-220 380-440 |
Вес, кг | 420 |
Вход и выход | 100 ISO-K |
Габаритные размеры, мм | 970x400x907 |
Модель | ESA200W |
Предельное остаточное давление, мбар | 5,3x10^(-3) |
Расход охлаждающей воды, л/ ч | 210-480 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 333,3 |