| Производитель | Leybold |
| Страна | Германия |
| Тип | Криогенный |
| Вес, кг | 70 |
| Время охлаждения, мин | 150 |
| Вход и выход | DN 500 ISO-K |
| Газовая нагрузка по азоту, бар·л | 5500 |
| Газовая нагрузка по аргону, бар·л | 5500 |
| Газовая нагрузка по водороду, бар·л | 45 |
| Кроссовер, мбар·л | 800 |
| Модель | 10000 iCL |
| Производительность по Ar, мбар·л/с | 10 |
| Производительность по H2, мбар·л/с | 7 |
| Производительность по N2, мбар·л/с | 10 |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 30000 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 10000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 8400 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 10000 |
