| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 240 |
| Вес, кг | 75 |
| Вибрация, мкм | 0,01 |
| Вход и выход | 320 ISO-F / 40 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 2x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 2x10^3 |
| Модель | EMT4200MK |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 4200 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 2800 |
