Производитель | Ebara |
Страна | Япония |
Тип | Турбомолекулярный |
Напряжение, В | 240 |
Охлаждение | Водяное воздушное |
Вес, кг | 14 |
Вибрация, мкм | 0,01 |
Вход и выход | 160 ISO-F, 160 CF / 25 KF |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия водорода | 4,5x10^3 |
Модель | EMT420M |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
Скорость откачки по азоту, л/с | 400 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 300 |