| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 3,5 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 190 |
| Вход и выход | 50 KF |
| Габаритные размеры, мм | 760x400x488 |
| Модель | ESR30N |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6,7x10^(-3) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 120-480 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 50 |
