| Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
| Максимальная температура, °С | 1350 |
| Масса садки, кг | 250 |
| Мощность нагрева, кВт | 75 |
| Однородность температуры, °C | ±5 |
| Размеры рабочей камеры, мм | 400х400х600 |
| Предельный вакуум, мбар | 5х10-3/4х10-1 |
| Время перемещения садки, мин | 0.333 |
| Давление газа, бар | 6/10 |
| Количество рабочих камер | 1/2 |
| Рабочий газ | CH4/C2H2+N2 |
