| Производитель | UHV Design |
| Страна | Великобритания |
| Базовый фланец | CF100 (6") |
| Векторное движение к жестким остановкам, мм | +-21 |
| Векторный ход к концевым выключателям, мм | +-21 |
| Диаметр трубы, мм | 65 |
| Дополнительные порты | - |
| Изменение параллелизма фланца | <2 mrad |
| Линейное разрешение на 1/2 шага, мм | 0,00125 |
| Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала) | 200 N |
| Максимальный диаметр зонда для полного хода, мм | 22 |
| Максимальный консольный момент | 10 Nm |
| Модель | TTX63-100 |
| Наклон фланца | +/- 2 градуса |
| Подвижный фланец | CF63 (4 1/2") |
| Разрешение | 0,002 мм |
| Разрешение микрометра по оси X и Y | 0,001 мм |
| Температура выпекания, °C | 250 |
| Ход до жесткого упора, мм | +-15 |
| Ход до концевых выключателей, мм | +-15 |
| Ход по Z, мм | 25-300 |
| Шаг винта по оси X и Y, мм | 0,5 |
| Шаг ходового винта, мм | 2 |
