| Производитель | SKY Pumps |
| Тип | Криогенный |
| Вес, кг | 42 |
| Время охлаждения, мин | 100 |
| Вход и выход | ISO320 / UVG-300 |
| Габаритные размеры, мм | 400×470×644 |
| Емкость аргона, л | 4200 |
| Емкость водорода, л | 16 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | ZP-DU320 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 10^(-9) |
| Серия | ZP |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 10000 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 4000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 3300 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 6000 |
