Производитель | Shimadzu |
Страна | Япония |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 45000 |
Охлаждение | воздушное |
Вес, кг | 14 |
Вибрация, мкм | 0,012 |
Время разгона ротора, мин | 5 |
Вход и выход | VG150, ICF203, ISO160B, ISO160C / KF25 |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^9 |
Коэффициент сжатия водорода | 1x10^4 |
Коэффициент сжатия гелия | 8x10^4 |
Модель | TMP-403M |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-10) |
Скорость откачки по азоту, л/с | 420 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 340 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 360 |
Температурный режим, °С | от 0 до 40 |