Производитель | Pfeiffer Vacuum |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 49200 |
Уровень шума, дБ | 45 |
Охлаждение | Водяное воздушное |
Вес, кг | 23,3 |
Время разгона ротора, мин | 4 |
Вход и выход | DN 200 CF-F / DN 25 ISO-KF |
Класс защиты | IP 54 |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия аргона | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия водорода | 2x10^5 |
Коэффициент сжатия гелия | 1x10^7 |
Модель | HiPace 800 M TM 700 OPS 400 Profibus DN 200 CF-F |
Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-10) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 8 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 13 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 790 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 775 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 500 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 625 |