| Производитель | Pfeiffer Vacuum |
| Страна | Германия |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 90000 |
| Уровень шума, дБ | 48 |
| Вес, кг | 3 |
| Время разгона ротора, мин | 1,9 |
| Вход и выход | DN 63 ISO-K / DN 16 ISO-KF/G ¼" |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^11 |
| Коэффициент сжатия аргона | 1x10^11 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1,4x10^5 |
| Коэффициент сжатия гелия | 1,3x10^7 |
| Модель | HiPace 80 TC 110 Profibus E74 DN 63 ISO-K |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-7) |
| Производительность по Ar, мбар·л/с | 0,37 |
| Производительность по H2, мбар·л/с | 8,9 |
| Производительность по He, мбар·л/с | 2,3 |
| Производительность по N2, мбар·л/с | 0,7 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 67 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 66 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 48 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 58 |
