Производитель | Pfeiffer Vacuum |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 90000 |
Уровень шума, дБ | 48 |
Вес, кг | 3 |
Время разгона ротора, мин | 1,9 |
Вход и выход | DN 63 ISO-K / DN 16 ISO-KF/G ¼" |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия аргона | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия водорода | 1,4x10^5 |
Коэффициент сжатия гелия | 1,3x10^7 |
Модель | HiPace 80 TC 110 E74 OPS 70 DN 63 ISO-K |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-7) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 0,37 |
Производительность по H2, мбар·л/с | 8,9 |
Производительность по He, мбар·л/с | 2,3 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 0,7 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 67 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 66 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 48 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 58 |