Производитель | Pfeiffer Vacuum |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 60000 |
Уровень шума, дБ | 45 |
Охлаждение | Водяное воздушное |
Вес, кг | 13,4 |
Время разгона ротора, мин | 2 |
Вход и выход | DN 100 ISO-F / DN 16 ISO-KF |
Класс защиты | IP 54 |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия аргона | 1x10^11 |
Коэффициент сжатия водорода | 5x10^5 |
Коэффициент сжатия гелия | 1x10^8 |
Модель | HiPace 300 M TM 700 DeviceNet DN 100 ISO-F |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-7) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 13 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 28 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 255 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 250 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 170 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 215 |