Производитель | Pfeiffer Vacuum |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 31500 |
Уровень шума, дБ | 50 |
Охлаждение | Водяное |
Вес, кг | 36 |
Время разгона ротора, мин | 7 |
Вход и выход | DN 250 ISO-K / DN 40 ISO-KF |
Класс защиты | IP 54 |
Коэффициент сжатия CF4 | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия аргона | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия водорода | 2x10^4 |
Коэффициент сжатия гелия | 3x10^5 |
Модель | HiPace 2300 TCP 1200 DN 250 ISO-K |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-7) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 9 |
Производительность по H2, мбар·л/с | 30 |
Производительность по He, мбар·л/с | 14 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 13 |
Скорость откачки по CF4, л/с | 1480 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 1900 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 1800 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 1850 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 2000 |