| Производитель | Pfeiffer Vacuum |
| Страна | Германия |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 50000 |
| Уровень шума, дБ | 42 |
| Охлаждение | Водяное |
| Вес, кг | 17 |
| Время разгона ротора, мин | 2 |
| Вход и выход | DN 160 ISO-F / DN 25 ISO-KF |
| Коэффициент сжатия азота | 2x10^7 |
| Коэффициент сжатия аргона | 8x10^6 |
| Коэффициент сжатия водорода | 2x10^2 |
| Коэффициент сжатия гелия | 1x10^4 |
| Модель | ATH 500 M DN 160 ISO-F Profibus Water-Cooled |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Производительность по Ar, мбар·л/с | 42,3 |
| Производительность по H2, мбар·л/с | 169 |
| Производительность по He, мбар·л/с | 169 |
| Производительность по N2, мбар·л/с | 67,6 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 550 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 530 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 190 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 390 |
