Производитель | Pfeiffer Vacuum |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 50000 |
Уровень шума, дБ | 42 |
Охлаждение | Водяное |
Вес, кг | 17 |
Время разгона ротора, мин | 2 |
Вход и выход | DN 100 ISO-F / DN 25 ISO-KF |
Коэффициент сжатия азота | 2x10^7 |
Коэффициент сжатия аргона | 8x10^6 |
Коэффициент сжатия водорода | 2x10^2 |
Коэффициент сжатия гелия | 1x10^4 |
Модель | ATH 500 M DN 100 ISO-F Remote Water-Cooled |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 42,3 |
Производительность по H2, мбар·л/с | 169 |
Производительность по He, мбар·л/с | 169 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 67,6 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 350 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 320 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 170 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 310 |