| Производитель | Pfeiffer Vacuum |
| Страна | Германия |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 39000 |
| Уровень шума, дБ | 48 |
| Охлаждение | Водяное |
| Вес, кг | 42 |
| Время разгона ротора, мин | 6 |
| Вход и выход | DN 250 CF-F / DN 40 ISO-KF |
| Класс защиты | IP 42 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия аргона | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 5x10^2 |
| Коэффициент сжатия гелия | 4x10^4 |
| Модель | ATH 1603 M DN 250 CF-F OBC V4 Profibus |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6x10^(-9) |
| Производительность по Ar, мбар·л/с | 20,3 |
| Производительность по H2, мбар·л/с | 67,6 |
| Производительность по He, мбар·л/с | 67,6 |
| Производительность по N2, мбар·л/с | 67,6 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1400 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 1350 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 540 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 970 |
