| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 74 |
| Время разгона ротора, мин | 11 |
| Вход и выход | ISO-B320/VG300 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 3x10^3 |
| Модель | TGkine3300MI |
| Предельное остаточное давление, мбар | 2x10^(-9) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 3300 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 2700 |
