| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 65 |
| Время разгона ротора, мин | 10 |
| Вход и выход | ISO-B200/VG200 |
| Коэффициент сжатия азота | 2,0x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 3,0x10^3 |
| Модель | TGkine1700M |
| Предельное остаточное давление, мбар | 2x10^(-9) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 70 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 40 |
