| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 42 |
| Время разгона ротора, мин | 5 |
| Вход и выход | VG150/CF160/ISO-B160 |
| Коэффициент сжатия азота | 1,0x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1,5x10^4 |
| Модель | TG900ML |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 900 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 1050 |
