| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 5,4 |
| Время разгона ротора, мин | 2 |
| Вход и выход | ISO-R63/CF63/KF40 |
| Коэффициент сжатия азота | 2,0x10^7 |
| Коэффициент сжатия водорода | 2x10^3 |
| Модель | TG60F |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 60 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 22 |
