| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 8 |
| Время разгона ротора, мин | 1,2 |
| Вход и выход | VG100/ISO-R100/CF100 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^(-8) |
| Коэффициент сжатия водорода | 4,0x10^2 |
| Модель | TG220F |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Серия | TG |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 220 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 100 |
