| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 27 |
| Время разгона ротора, мин | 9 |
| Вход и выход | VG200/ISO-B200/ CF200 |
| Коэффициент сжатия азота | 1,0x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1,0x10^4 |
| Модель | TG1100F |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1100 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 720 |
