| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 50 |
| Время разгона ротора, мин | 12 |
| Вход и выход | VG150/CF160/ISO-B160 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4x10^3 |
| Модель | TG1003 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
| Серия | TG |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1000 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 1000 |
