Производитель | Leybold GmbH |
Страна | Германия |
Тип | Турбомолекулярный |
Частота вращения, об/мин | 48000 |
Вес, кг | 13,9 |
Время разгона ротора, мин | 5 |
Вход и выход | 160 ISO-K (160 CF) / 25 ISO‐KF |
Коэффициент сжатия азота | 1,0x10^11 |
Коэффициент сжатия аргона | 1,0x10^11 |
Коэффициент сжатия водорода | 3,0x10^5 |
Коэффициент сжатия гелия | 1,0x10^7 |
Модель | SL 700 |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-9) |
Производительность по Ar, мбар·л/с | 4,6 |
Производительность по H2, мбар·л/с | 0,9 |
Производительность по He, мбар·л/с | 2 |
Производительность по N2, мбар·л/с | 5,6 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 690 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 630 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 360 |
Скорость откачки по гелию, л/с | 580 |
Температурный режим, °С | от 15 до 45 |