| Производитель | KYKY |
| Страна | КНР |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 72000 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 2,6 |
| Время разгона ротора, мин | 2 |
| Вход и выход | ISO-K63, CF63 / KF16 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^9 |
| Коэффициент сжатия аргона | 1x10^9 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1x10^4 |
| Коэффициент сжатия гелия | 1x10^5 |
| Модель | FF-63/80E |
| Предельное остаточное давление, мбар | 3x10^(-7) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 65 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 65 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 34 |
| Скорость откачки по гелию, л/с | 55 |
