| Производитель | Inficon |
| Страна | Швейцария |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,28 |
| Напряжение, В | 230 |
| Время запуска, сек | 150 |
| Время отклика, мс | 1000 |
| Методы испытаний | Метод щупа |
| Минимальный регистрируемый поток гелия, Па·м3/с | 2x10^(-8) |
| Модель | XL3000flex |
| Поток газа, sccm | 300 |
| Рабочие газы | Helium, H2 |
