Производитель | Genesis Vacuum Technologies |
Страна | Южная Корея |
Тип | Криогенный |
Вес, кг | 104 |
Время охлаждения, мин | 125 |
Габаритные размеры, мм | 834x680x751 |
Емкость аргона, л | 11000 |
Емкость водорода, л | 120 |
Кроссовер, мбар·л | 733 |
Модель | HPM 55 |
Номинальное время регенерации, мин | 130 |
Предельное остаточное давление, мбар | 1,33x10^(-9) |
Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 18 |
Скорость откачки по H2O, л/с | 40000 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 14000 |
Скорость откачки по аргону, л/с | 12000 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 30000 |