| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,45 |
| Напряжение, В | 200-240 |
| Вес, кг | 65 |
| Вход и выход | 40 KF |
| Габаритные размеры, мм | 324x584x367 |
| Модель | EV-SA20 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 3x10^(-2) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 27,83 |
