| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 5,1 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 170 |
| Вход и выход | 100 ISO-K / 40 KF |
| Габаритные размеры, мм | 650x275x597 |
| Модель | EV-S200 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-3) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 120-180 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 333,3 |
