| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 2,2 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 60 |
| Вход и выход | 50 KF |
| Габаритные размеры, мм | 450x230x322 |
| Модель | EV-S20 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 3x10^(-2) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 90-180 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 27,83 |
