| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 4,6 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 120 |
| Вход и выход | 63 ISO-K |
| Габаритные размеры, мм | 510x260x537 |
| Модель | EV-S100 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-3) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 120-180 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 166,6 |
