Производитель | Ebara |
Страна | Япония |
Тип | Винтовой |
Мощность электродвигателя, кВт | 3,8 |
Напряжение, В | 200-220 380-440 |
Вес, кг | 320 |
Вход и выход | 100 ISO-K |
Габаритные размеры, мм | 810x380x827 |
Модель | EV-M102N |
Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-2) |
Расход охлаждающей воды, л/ ч | 180-480 |
Скорость откачки по азоту, л/с | 166,6 |