| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 3,5 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 260 |
| Вход и выход | 40 KF |
| Габаритные размеры, мм | 1100x410x532 |
| Модель | EST10N |
| Предельное остаточное давление, мбар | 2,7x10^(-2) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 300-480 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 16,6 |
