| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 7,4 |
| Напряжение, В | 200-220 380-440 |
| Вес, кг | 400 |
| Вход и выход | 50 KF / 40 KF |
| Габаритные размеры, мм | 985x400x800 |
| Модель | ESA-80W-D |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1,3x10^(-3) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 210-480 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 140 |
