| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 240 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 14 |
| Вибрация, мкм | 0,01 |
| Вход и выход | 100 ISO-F, 100 CF / 25 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4,5x10^3 |
| Модель | EMT390M |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 340 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 290 |
| Сортировка в разделе "Турбомолекулярные насосы" | 519 |
