| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 240 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 34 |
| Вибрация, мкм | 0,01 |
| Вход и выход | 200 ISO-F, 200 CF / 25 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1,5x10^4 |
| Модель | EMT1300M |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1300 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 1200 |
