| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 24 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 3 |
| Вход и выход | 63 ISO-K, 63 CF / 25 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1x10^5 |
| Модель | EBT70F |
| Предельное остаточное давление, мбар | 5x10^(-9) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 70 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 40 |
