| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 230 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 45 |
| Вход и выход | 250 ISO-F / 40 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1,4x10^3 |
| Модель | EBT2400F |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 2400 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 1100 |
