| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 230 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 5,5 |
| Вход и выход | 100 ISO-K, 100 CF / 25 KF |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4x10^2 |
| Модель | EBT220F |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Серия | EBT |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 220 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 100 |
