Производитель | Ebara |
Страна | Япония |
Тип | Турбомолекулярный |
Напряжение, В | 230 |
Охлаждение | Водяное воздушное |
Вес, кг | 5,5 |
Вход и выход | 100 ISO-K, 100 CF / 25 KF |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия водорода | 4x10^2 |
Модель | EBT220F |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
Скорость откачки по азоту, л/с | 220 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 100 |