Производитель | Ebara |
Страна | Япония |
Тип | Турбомолекулярный |
Напряжение, В | 230 |
Охлаждение | Водяное воздушное |
Вес, кг | 29 |
Вход и выход | 200 ISO-F, 200 CF / 40 KF |
Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
Коэффициент сжатия водорода | 4,3x10^3 |
Модель | EBT1400F |
Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
Скорость откачки по азоту, л/с | 1400 |
Скорость откачки по водороду, л/с | 750 |