| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 230 |
| Охлаждение | Водяное воздушное |
| Вес, кг | 27 |
| Вход и выход | 200 ISO-F, 200 CF / 40 KF |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1x10^4 |
| Модель | EBT1100F |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1100 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 720 |
| Сортировка в разделе "Турбомолекулярные насосы" | 522 |
