| Производитель | Ист Вакуум |
| Страна | КНР |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 27000 |
| Охлаждение | Водяное |
| Вес, кг | 29 |
| Время разгона ротора, мин | 5 |
| Вход и выход | ISO160K / KF40 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 6x10^3 |
| Модель | FF160/500 (ISO160K) |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6x10^(-6) |
| Скорость откачки, л/с | 500 |
| Температурный режим, °С | 25 |
