| Производитель | CBVAC |
| Страна | КНР |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Частота вращения, об/мин | 36000 |
| Вес, кг | 4 |
| Время разгона ротора, мин | 4 |
| Вход и выход | CF100 / KF25 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^7 |
| Коэффициент сжатия водорода | 8x10^2 |
| Модель | CFB-100Z-3170 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар | 3x10^(-9) |
| Серия | CFB |
| Скорость откачки, л/с | 100 |
