| Производитель | Agilent Technologies |
| Страна | США |
| Тип | Пластинчато-роторный |
| Мощность электродвигателя, кВт | 15 |
| Частота вращения, об/мин | 820 |
| Уровень шума, дБ | 73 |
| Вес, кг | 575 |
| Модель | MS-631 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 0,7 |
| Ступени, кол-во | 1368 |
